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CMS-500
无尘小型储料器CMS-500为自动化无尘车间环境中的高层或多层存储提供节省空间的解决方案。
CMS-500使生产周期最小化,支持大容量生产操作。
处理的主要问题:
手动晶片存储
层间输送
层间存储
特性
尺寸可调节到层间高度
优点
层间性能
适用行业:
半导体
硅片
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