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CLS-50/CLS-50II

无尘储料器CLS-50提供300毫米无尘车间自动化存储系统所需的速度、尺寸和扩展性。

以模块化设计为特点，CLS-50可根据需要容易地水平扩展。 CLS-50以HID非接触式或刷型电源提供可靠的性能。

处理的主要问题：

• 手动晶片存储
• 盒或箱
• 1级清洁度
• 水平扩展

特性

可水平地扩展

带有FFU的1级清洁度

优点

通过水平扩展更好地利用空间

1级清洁度开盒输送

适用行业：

• 半导体
• 硅片

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