在半导体制造中，效率和清洁度对生产率至关重要。 大福的半导体输送系统利用其自己的HID非接触式电压感应系统以消除颗粒生成。 我们提供所有载体和尺寸的搬运系统。

大福存储系统快速、有效、可靠。 与大福输送系统相结合，我们的存储装置将使您的产品性能和效率最大化。 我们的存储系统可提供各种尺寸和用途，包括：

200毫米晶片存储系统

• 无尘储料器CLS-40

300毫米晶片存储系统

• 无尘储料器CLS-50和50II（水平可扩展）
• 无尘小型储料器CMS-500（提供层间高度）
• 零占地空间存储（轨道侧面和底部）

标线储料器