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CLW-250
专门为200毫米晶片的安全有效输送而设计,防尘轨道输送车CLW-250悬挂式输送系统支持高吞吐量操作。
处理的主要问题:
手动输送
200毫米操作
特性
200毫米晶片操作
有效的封闭环设计
优点
200毫米输送的可行选项
可通过封闭环系统进行有效的输送
适用行业:
半导体
硅片
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